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2014-1128.pdf(1110KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | | View
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作者单位: | 1.四川大学物理科学与技术学院 2.中国科学院重庆绿色智能技术研究院 3.中国科学院光电技术研究所
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Recommended Citation: |
张裕坤,张志友,杜惊雷,等. 用于成像系统的高矢高透镜阵列光刻技术(英文)[J]. 科学技术与工程,2014(20):167-171.
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