用于成像系统的高矢高透镜阵列光刻技术(英文)

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题名:	用于成像系统的高矢高透镜阵列光刻技术(英文)
作者:	张裕坤; 张志友; 杜惊雷; 尹韶云; 史立芳; 邓启凌; 董小春; 杜春雷
刊名:	科学技术与工程
出版日期:	2014
期号:	20, 页码:167-171
关键词:	矢高 ; 透镜阵列 ; 成像
通讯作者:	张裕坤
文章类型:	期刊论文
中文摘要:	在移动掩模光刻技术的基础上,提出一种可用于成像系统的高矢高透镜阵列制备的二次光刻方法。二次光刻分别用于减小抗蚀剂表面粗糙度和借助移动掩模光刻制备高矢高透镜阵列。通过这种方法,制备了矢高254μm的透镜阵列。透镜矢高约为传统移动掩模光刻技术制备透镜阵列矢高的二倍。进而,制备的透镜阵列被用于集成成像系统,获得了高质量的三维图像。这一结果很好地证明了此种二次光刻方法可用于成像系统高矢高透镜阵列的制备,具有较好的应用前景。
语种:	中文
内容类型:	期刊论文
URI标识:	http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7317
Appears in Collections:	微电子装备总体研究室（四室）_期刊论文

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2014-1128.pdf（1110KB）	期刊论文	作者接受稿	开放获取	CC BY-NC-SA	View 联系获取全文

作者单位:

1.四川大学物理科学与技术学院
2.中国科学院重庆绿色智能技术研究院
3.中国科学院光电技术研究所

Recommended Citation:

张裕坤,张志友,杜惊雷,等. 用于成像系统的高矢高透镜阵列光刻技术(英文)[J]. 科学技术与工程,2014(20):167-171.

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