IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
制备人工复眼结构的方法
史立芳; 叶玉堂; 邓启凌; 董小春; 杜春雷
Source Publication红外与激光工程
Volume42Issue:9Pages:2462-2466
2013
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract提出了一种人工复眼结构的制备技术。人工复眼结构是由类似于昆虫复眼的很多小眼组成。这些小眼分布在球冠基底上以能够像昆虫复眼一样实现大视场探测。通过分析不同制备技术的特点及适用范围,研究材料的特性以及不同材料之间的关系,并将各种制作工艺以及材料相融合,发展了一种可用于制备曲面微阵列元件的制备方法。在该方法中,利用微加工技术在平面上制备作为子眼的微透镜列阵结构;然后利用软光刻技术将该微透镜结构进行翻模,获得分布在柔性基底上的凹透镜列阵结构;最后利用浇铸复制技术将柔性基底上的结构转移到球冠基底上,获得所需的人工复眼结构。利用该方法,开展了相关实验,在曲面基底上制备出了包含20 000多个子眼的人工复眼...
Keyword人工复眼 微透镜阵列 曲面成形 Pdms
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7274
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author史立芳
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.电子科技大学光电信息学院
3.中国科学院重庆绿色智能技术研究院
Recommended Citation
GB/T 7714
史立芳,叶玉堂,邓启凌,等. 制备人工复眼结构的方法[J]. 红外与激光工程,2013,42(9):2462-2466.
APA 史立芳,叶玉堂,邓启凌,董小春,&杜春雷.(2013).制备人工复眼结构的方法.红外与激光工程,42(9),2462-2466.
MLA 史立芳,et al."制备人工复眼结构的方法".红外与激光工程 42.9(2013):2462-2466.
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