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题名:
长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜
作者: 王仲勋; 潘一鸣; 尹韶云; 邓启凌; 史立芳; 杜春雷; 吴钦章
刊名: 光学学报
出版日期: 2013
卷号: 33, 期号:2, 页码:198-202
关键词: 光学制造 ; 长焦深 ; 高分辨 ; 激光加工 ; 衍射元件
通讯作者: 王仲勋
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 受限于传统激光加工透镜焦深与焦斑大小的矛盾关系,分辨率与加工深度很难同时获得提升。提出一种通过对不同焦距的菲涅耳透镜相位采样组合形成长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜的设计方法。针对10.6μm的激光加工波长,采用自编的程序设计了一个通光口径为11mm、中心焦距为47mm的激光纸张打孔透镜,并开展了相应的实验加工与测试。结果表明,该透镜与具有相同口径和焦距的传统透镜相比,焦深增加了2倍,并且在整个焦深范围内焦斑尺寸保持着与普通透镜相近的分辨率。该透镜实现简单,为大深度、高分辨的激光加工提供了可行的途径,在激光加工领域有较好的应用前景。
收录类别: Ei
项目资助者: 国家自然科学基金(11174281)资助课题
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7269
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2013-1060.pdf(2705KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院重庆绿色智能技术研究院

Recommended Citation:
王仲勋,潘一鸣,尹韶云,等. 长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜[J]. 光学学报,2013,33(2):198-202.
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