IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜
王仲勋; 潘一鸣; 尹韶云; 邓启凌; 史立芳; 杜春雷; 吴钦章
Source Publication光学学报
Volume33Issue:2Pages:198-202
2013
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract受限于传统激光加工透镜焦深与焦斑大小的矛盾关系,分辨率与加工深度很难同时获得提升。提出一种通过对不同焦距的菲涅耳透镜相位采样组合形成长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜的设计方法。针对10.6μm的激光加工波长,采用自编的程序设计了一个通光口径为11mm、中心焦距为47mm的激光纸张打孔透镜,并开展了相应的实验加工与测试。结果表明,该透镜与具有相同口径和焦距的传统透镜相比,焦深增加了2倍,并且在整个焦深范围内焦斑尺寸保持着与普通透镜相近的分辨率。该透镜实现简单,为大深度、高分辨的激光加工提供了可行的途径,在激光加工领域有较好的应用前景。
Keyword光学制造 长焦深 高分辨 激光加工 衍射元件
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7269
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author王仲勋
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院重庆绿色智能技术研究院
Recommended Citation
GB/T 7714
王仲勋,潘一鸣,尹韶云,等. 长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜[J]. 光学学报,2013,33(2):198-202.
APA 王仲勋.,潘一鸣.,尹韶云.,邓启凌.,史立芳.,...&吴钦章.(2013).长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜.光学学报,33(2),198-202.
MLA 王仲勋,et al."长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜".光学学报 33.2(2013):198-202.
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