IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
光刻机外型设计新理念
蒋薇; 赵立新
Source Publication现代科学仪器
Issue1Pages:41-43
2013
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract光刻机是微纳器件的重要加工设备之一,推动着电子工业的不断发展。研发人员在设计过程中首要关注的是其功能的多样性、可靠性、实用性以及设备的经济性等方面。与其主要强调功能相比,外型设计往往容易被忽视,而良好的外型对用户的使用和感官意义重大。光刻机外型主要包括形态、色彩、材质、人机工程学、技术经济性以及绿色设计等方面,文章对此展开全面分析,提出了一套可行的光刻机外型设计理念。为光刻机外型设计指明了方向。
Keyword光刻机 形态 色彩 材质 人机工程学 技术经济性 绿色设计
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7267
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author蒋薇
Affiliation中国科学院光电技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
蒋薇,赵立新. 光刻机外型设计新理念[J]. 现代科学仪器,2013(1):41-43.
APA 蒋薇,&赵立新.(2013).光刻机外型设计新理念.现代科学仪器(1),41-43.
MLA 蒋薇,et al."光刻机外型设计新理念".现代科学仪器 .1(2013):41-43.
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