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题名:
光刻机外型设计新理念
作者: 蒋薇; 赵立新
刊名: 现代科学仪器
出版日期: 2013
期号: 1, 页码:41-43
关键词: 光刻机 ; 形态 ; 色彩 ; 材质 ; 人机工程学 ; 技术经济性 ; 绿色设计
通讯作者: 蒋薇
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 光刻机是微纳器件的重要加工设备之一,推动着电子工业的不断发展。研发人员在设计过程中首要关注的是其功能的多样性、可靠性、实用性以及设备的经济性等方面。与其主要强调功能相比,外型设计往往容易被忽视,而良好的外型对用户的使用和感官意义重大。光刻机外型主要包括形态、色彩、材质、人机工程学、技术经济性以及绿色设计等方面,文章对此展开全面分析,提出了一套可行的光刻机外型设计理念。为光刻机外型设计指明了方向。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7267
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2013-1039.pdf(176KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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蒋薇,赵立新. 光刻机外型设计新理念[J]. 现代科学仪器,2013(1):41-43.
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