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题名:
用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计
作者: 胡博; 唐小萍; 胡松; 胡志成
刊名: 压电与声光
出版日期: 2013
期号: 1, 页码:94-97
关键词: 压电陶瓷 ; 驱动器 ; 高压运放 ; 高精度 ; 仿真分析
通讯作者: 胡博
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为了提高大数值孔径投影物镜成像质量,需对镜片进行高精度微调。压电陶瓷是一种高精度定位的执行元件。根据电压控制型压电陶瓷驱动电源的原理,利用运算放大器PA88和OPA2227构成的高压运放式复合放大电路,设计了一种高精度的压电陶瓷驱动器,用于驱动镜片的精密微调。详细阐述了驱动器和供电电源的设计原理,并运用Multisim10软件对该驱动器的输出电压、线性度、静态纹波及稳定性进行了仿真分析。结果表明,该驱动器具有输出精度高,最大非线性误差为0.000 5%,静态纹波小(±100nV),稳定性强等优点,达到了投影物镜中镜片微调要求。
项目资助者: 西部之光联合学者项目支持基金资助项目(A10K012)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7266
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2013-1030.pdf(583KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院

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胡博,唐小萍,胡松,等. 用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计[J]. 压电与声光,2013(1):94-97.
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