IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计
胡博; 唐小萍; 胡松; 胡志成
Source Publication压电与声光
Issue1Pages:94-97
2013
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract为了提高大数值孔径投影物镜成像质量,需对镜片进行高精度微调。压电陶瓷是一种高精度定位的执行元件。根据电压控制型压电陶瓷驱动电源的原理,利用运算放大器PA88和OPA2227构成的高压运放式复合放大电路,设计了一种高精度的压电陶瓷驱动器,用于驱动镜片的精密微调。详细阐述了驱动器和供电电源的设计原理,并运用Multisim10软件对该驱动器的输出电压、线性度、静态纹波及稳定性进行了仿真分析。结果表明,该驱动器具有输出精度高,最大非线性误差为0.000 5%,静态纹波小(±100nV),稳定性强等优点,达到了投影物镜中镜片微调要求。
Keyword压电陶瓷 驱动器 高压运放 高精度 仿真分析
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7266
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author胡博
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院
Recommended Citation
GB/T 7714
胡博,唐小萍,胡松,等. 用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计[J]. 压电与声光,2013(1):94-97.
APA 胡博,唐小萍,胡松,&胡志成.(2013).用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计.压电与声光(1),94-97.
MLA 胡博,et al."用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计".压电与声光 .1(2013):94-97.
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