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题名:
光刻机智能控制系统设计
作者: 王楠; 蒋薇; 严伟; 胡松
刊名: 红外与激光工程
出版日期: 2013
卷号: 42, 期号:S2, 页码:317-322
关键词: 光刻机 ; FPGA ; ARM ; 智能控制
通讯作者: 王楠
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 随着光刻工艺要求的提升,光刻机自动化和智能化的要求程度越来越高。基于传统工控机的光刻机在很大程度上解决了这个问题,但该设计体积大,功耗高,震动大,且人机交互性不强,多路实时监控难以集成。鉴于此,设计了一种基于平板电脑的光刻机控制设备,该设备由平板工控机、图像采集卡和运动控制板卡构成,通过USB和串口进行通信。其中平板工控机以嵌入式处理器S3C2440作为核心,图像采集卡以FPGA芯片EP2C8Q208C8为核心,运动控制板卡以单片机AT89C52为核心。运行时,图像采集卡首先对视频图像进行预处理,接着将其传输至平板工控机进行数据处理和显示,用户通过控制终端进行操作,最后由运动控制卡完成相应的动...
收录类别: Ei
项目资助者: 国家自然科学基金(61274108)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7264
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2013-1007.pdf(515KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
3.四川大学

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王楠,蒋薇,严伟,等. 光刻机智能控制系统设计[J]. 红外与激光工程,2013,42(S2):317-322.
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