IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
光刻机智能控制系统设计
王楠; 蒋薇; 严伟; 胡松
Source Publication红外与激光工程
Volume42Issue:S2Pages:317-322
2013
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract随着光刻工艺要求的提升,光刻机自动化和智能化的要求程度越来越高。基于传统工控机的光刻机在很大程度上解决了这个问题,但该设计体积大,功耗高,震动大,且人机交互性不强,多路实时监控难以集成。鉴于此,设计了一种基于平板电脑的光刻机控制设备,该设备由平板工控机、图像采集卡和运动控制板卡构成,通过USB和串口进行通信。其中平板工控机以嵌入式处理器S3C2440作为核心,图像采集卡以FPGA芯片EP2C8Q208C8为核心,运动控制板卡以单片机AT89C52为核心。运行时,图像采集卡首先对视频图像进行预处理,接着将其传输至平板工控机进行数据处理和显示,用户通过控制终端进行操作,最后由运动控制卡完成相应的动...
Keyword光刻机 Fpga Arm 智能控制
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7264
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author王楠
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
3.四川大学
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GB/T 7714
王楠,蒋薇,严伟,等. 光刻机智能控制系统设计[J]. 红外与激光工程,2013,42(S2):317-322.
APA 王楠,蒋薇,严伟,&胡松.(2013).光刻机智能控制系统设计.红外与激光工程,42(S2),317-322.
MLA 王楠,et al."光刻机智能控制系统设计".红外与激光工程 42.S2(2013):317-322.
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