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题名:
准相位型光子筛设计
作者: 唐燕; 胡松; 朱江平; 何渝
刊名: 光学学报
出版日期: 2012
卷号: 32, 期号:10, 页码:241-245
关键词: 衍射 ; 光子筛 ; 相位 ; 聚焦特性
通讯作者: 唐燕
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 提出了一种准相位型光子筛。该准相位型光子筛通过改变暗环上小孔直径与带宽的比值,对焦点处的相位分布进行调制,使通过亮环和暗环上小孔的光波在焦点处发生相长干涉,生成聚焦光斑。该准相位型光子筛无需对基底进行特殊处理,即可完成相位型光子筛的制作,降低了加工难度。和普通振幅型光子筛相比,在相同最小加工尺寸的条件下,准相位型光子筛具有较大的数值孔径,可降低聚焦光斑尺寸。并且,和多区光子筛相比,在同样的最小加工尺寸及数值孔径的条件下,准相位型光子筛光斑尺寸及质量均优于对方。为大数值孔径光子筛设计提供了一种新的设计方法。
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7258
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2012-1196.pdf(3013KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610208

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唐燕,胡松,朱江平,等. 准相位型光子筛设计[J]. 光学学报,2012,32(10):241-245.
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