IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
准相位型光子筛设计
唐燕; 胡松; 朱江平; 何渝
Source Publication光学学报
Volume32Issue:10Pages:241-245
2012
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract提出了一种准相位型光子筛。该准相位型光子筛通过改变暗环上小孔直径与带宽的比值,对焦点处的相位分布进行调制,使通过亮环和暗环上小孔的光波在焦点处发生相长干涉,生成聚焦光斑。该准相位型光子筛无需对基底进行特殊处理,即可完成相位型光子筛的制作,降低了加工难度。和普通振幅型光子筛相比,在相同最小加工尺寸的条件下,准相位型光子筛具有较大的数值孔径,可降低聚焦光斑尺寸。并且,和多区光子筛相比,在同样的最小加工尺寸及数值孔径的条件下,准相位型光子筛光斑尺寸及质量均优于对方。为大数值孔径光子筛设计提供了一种新的设计方法。
Keyword衍射 光子筛 相位 聚焦特性
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7258
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author唐燕
Affiliation中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610208
Recommended Citation
GB/T 7714
唐燕,胡松,朱江平,等. 准相位型光子筛设计[J]. 光学学报,2012,32(10):241-245.
APA 唐燕,胡松,朱江平,&何渝.(2012).准相位型光子筛设计.光学学报,32(10),241-245.
MLA 唐燕,et al."准相位型光子筛设计".光学学报 32.10(2012):241-245.
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