IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
大数值孔径光子筛偏振特性研究
唐燕; 胡松; 赵立新; 朱江平; 何渝
Source Publication光学学报
Volume32Issue:12Pages:49-53
2012
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract根据角谱理论建立不同偏振照明条件下的光子筛矢量衍射模型。在此基础上,对入射光分别为线偏振光、径向偏振光、切向偏振光三种特殊偏振状态下的光子筛聚焦光强分布进行了模拟分析。研究结果表明,对于大数值孔径光子筛,人射光的偏振特性将对光子筛聚焦光强分布产生巨大影响。线偏振光将使聚焦光斑沿偏振方向拉伸,切向偏振光产生的聚焦光斑具有“中空”结构,而径向偏振光所产生的聚焦光斑呈较为规则的圆形,且其焦深优于线偏照明情况。在激光直写及高分辨成像等光子筛典型应用中采用径向偏振照明将进一步提高系统分辨力。
Keyword衍射 偏振 光子筛 聚焦特性
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7257
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author唐燕
Affiliation中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610209
Recommended Citation
GB/T 7714
唐燕,胡松,赵立新,等. 大数值孔径光子筛偏振特性研究[J]. 光学学报,2012,32(12):49-53.
APA 唐燕,胡松,赵立新,朱江平,&何渝.(2012).大数值孔径光子筛偏振特性研究.光学学报,32(12),49-53.
MLA 唐燕,et al."大数值孔径光子筛偏振特性研究".光学学报 32.12(2012):49-53.
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