IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
光子筛成像技术研究进展
何渝; 赵立新; 唐燕; 陈铭勇; 朱江平
Source Publication激光与光电子学进展
Volume49Issue:9Pages:50-54
2012
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract光子筛是一种新型的纳米成像元件,具有高分辨、质量轻、体积小及易复制的优点,对于成像系统轻量化以及极短波谱区成像具有重要意义。根据解决的具体问题对国内外光子筛研究成果进行分类,从成像对比度的增加、衍射效率的提高、宽光谱成像和高数值孔径光子筛设计等方面详细介绍了光子筛的发展现状,并针对这四方面研究内容分析了目前尚需解决的技术问题。这些问题仍然是今后光子筛研究的主要方向。指出光子筛实用化面临的其他客观存在的问题,并展望了光子筛在天文望远镜、显微镜和光刻等领域的应用前景。
Keyword光学器件 光子筛 成像对比度 衍射效率 宽光谱成像 高数值孔径
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7254
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author何渝
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院
Recommended Citation
GB/T 7714
何渝,赵立新,唐燕,等. 光子筛成像技术研究进展[J]. 激光与光电子学进展,2012,49(9):50-54.
APA 何渝,赵立新,唐燕,陈铭勇,&朱江平.(2012).光子筛成像技术研究进展.激光与光电子学进展,49(9),50-54.
MLA 何渝,et al."光子筛成像技术研究进展".激光与光电子学进展 49.9(2012):50-54.
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