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题名:
一种数字光栅无掩模光刻对准方法
作者: 唐路路; 胡松; 徐峰; 唐燕; 陈铭勇; 朱江平
刊名: 中国激光
出版日期: 2012
卷号: 39, 期号:3, 页码:244-249
关键词: 光栅 ; 数字光栅 ; 变频率光栅 ; 无掩模光刻 ; 对准方法
通讯作者: 唐路路
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统,提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法,将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型,设计了对准标记以及具体的实现方案,并对模型进行了数值仿真和初步的实验验证。结果表明,采用频率可变、图像干净、具有良好周期性结构的数字光栅代替传统的真实掩模光栅,真正实现了零掩模成本;并且采用变频率数字光栅可以扩大测量范围,减小位移测量误差。最终可以实现深亚微米的对准精度,满足目前无掩模光刻对准精度的要求。
收录类别: Ei
项目资助者: 国家自然科学基金(60976077,60906049,61076100) ; 国家863计划(2009AA03Z341)资助课题
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7249
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2012-1035.pdf(3630KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院

Recommended Citation:
唐路路,胡松,徐峰,等. 一种数字光栅无掩模光刻对准方法[J]. 中国激光,2012,39(3):244-249.
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