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题名:
光刻对准中干涉条纹相位解析研究
作者: 徐锋; 胡松; 周绍林; 徐文祥
刊名: 光学学报
出版日期: 2012
卷号: 32, 期号:2, 页码:123-128
关键词: 测量 ; 相位解析 ; 二维解析小波变换 ; 二维小波脊 ; 封闭条纹
通讯作者: 徐锋
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 针对光刻对准中双光栅产生的具有多频率的干涉条纹,提出了一种基于二维解析小波变换进行条纹分析的方法。该方法首先通过二维小波变换的多尺度对条纹的多频率进行分析,并通过解析小波基函数将条纹的幅度与相位进行分离,最终通过二维小波脊方法提取出与偏移量相关的相位。在相位提取的同时通过二维小波脊所处点的角度分布来移除封闭条纹处理中常见的相位符号不确定性。数值模拟与实验验证了该方法的可行性并与传统的基于频域的相位分析方法进行了对比分析。结果表明,该方法能在获得所需相位信息的同时较好地滤除掉由光路抖动引起的噪声,具有很强的适应性。
收录类别: Ei
项目资助者: 国家863计划(2009AA03Z341) ; 国家自然基金(60976077,60906049,61076100)资助课题
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7248
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2012-1019.pdf(3091KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院

Recommended Citation:
徐锋,胡松,周绍林,等. 光刻对准中干涉条纹相位解析研究[J]. 光学学报,2012,32(2):123-128.
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