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题名:
纳米检焦中双相锁相放大器的Simulink建模与仿真
作者: 谢飞; 唐小萍; 胡松; 严伟
刊名: 光子学报
出版日期: 2010
卷号: 39, 期号:3, 页码:397-402
通讯作者: 谢飞
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 基于半导体激光器的光反馈效应,提出了光反馈光腔衰荡技术用于测量腔镜的高反射率。相对于没有光反馈的情况,光腔衰荡信号振幅提高了两个数量级,从而大大提高了高反射率测量精度。在四个衰荡腔长采用光反馈光腔衰荡技术测量得到的腔镜反射率非常一致,统计平均值为99.9356±0.0008%。通过实验比较了光反馈光腔衰荡和脉冲光腔衰荡技术。结果表明,光反馈光腔衰荡技术的测量精度比脉冲光腔衰荡技术高。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7241
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2010-238.pdf(876KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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谢飞,唐小萍,胡松,等. 纳米检焦中双相锁相放大器的Simulink建模与仿真[J]. 光子学报,2010,39(3):397-402.
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