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题名:
干涉空间相位光刻对准方法研究
作者: 马平; 胡松; 周绍林; 徐文祥
刊名: 激光与红外
出版日期: 2010
卷号: 40, 期号:7, 页码:748-751
通讯作者: 马平
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 分析讨论了光学系统热补偿设计的几种方式,并基于衍射光学元件特殊的热差特性,将衍射元件应用于非制冷红外双焦光学系统实现光学被动热补偿。ZEMAX光学设计软件分析结果表明,该系统在规定温度范围内成像良好,温度对双焦光学系统的影响不大。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7238
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2010-236.pdf(369KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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马平,胡松,周绍林,等. 干涉空间相位光刻对准方法研究[J]. 激光与红外,2010,40(7):748-751.
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