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题名:
球面投影光刻物镜的设计
作者: 赵立新; 张雨东; 王建; 戴云; 高洪涛; 董小春; 饶学军
刊名: 光电工程
出版日期: 2009
卷号: 36, 期号:1, 页码:93-97
通讯作者: 赵立新
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 针对人工晶体或隐形眼镜的面形上连续浮雕结构加工的特点,本文介绍了基于空间光调制器(DMD)曲面投影光刻物镜系统的设计方法.根据其成像面为曲面的特点,根据光学设计理论多次利用弯向物方的弯月形负透镜结构进行场曲校正
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7229
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2009-218.pdf(1323KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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赵立新,张雨东,王建,等. 球面投影光刻物镜的设计[J]. 光电工程,2009,36(1):93-97.
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