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题名:
数字灰度投影光刻技术
作者: 赵立新; 严伟; 王建; 胡松; 唐小萍; 王肇志; 王淑蓉; 张正荣; 张雨东
刊名: 微纳电子技术
出版日期: 2009
卷号: 46, 期号:3, 页码:181-185
通讯作者: 赵立新
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点.介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光刻技术,结合电寻址数字微镜阵列的工作方式,分析了
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7228
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2009-226.pdf(515KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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赵立新,严伟,王建,等. 数字灰度投影光刻技术[J]. 微纳电子技术,2009,46(3):181-185.
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