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题名:
离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术
作者: 林长青; 景洪伟; 匡龙; 吴时彬; 曹学东; 李杰
刊名: 强激光与粒子束
出版日期: 2012
卷号: 24, 期号:11, 页码:2665-2668
关键词: 离轴非球面镜 ; 三坐标测量机 ; 面形误差 ; 精磨
通讯作者: 林长青
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 提出了使用三坐标测量机(CMM)对离轴非球面镜进行测量的方法。通过CMM对离轴非球面镜镜面进行自动测量,获得实际面形的三维坐标数据,并与理论离轴非球面镜模型进行分析比较,得到实际镜面的面形误差值和均方根值;依据CMM的测量结果,完成了对离轴非球面镜精磨阶段的加工,解决了目前离轴非球面镜精磨阶段难于检测,以至于无法加工的问题。随着离轴非球面镜顺利进入抛光阶段,使用CMM实现了离轴非球面镜精磨检测与抛光检测的无缝对接。
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7067
Appears in Collections:质量处(质检中心)_期刊论文

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2012-1130.pdf(1523KB)期刊论文作者接受稿限制开放View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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林长青,景洪伟,匡龙,等. 离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术[J]. 强激光与粒子束,2012,24(11):2665-2668.
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