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题名:
接触式大型非球面镜面形测量中测量点分布的确定
作者: 李杰; 伍凡; 吴时彬; 匡龙; 林常青
刊名: 光学精密工程
出版日期: 2012
卷号: 20, 期号:4, 页码:727-732
关键词: 光学面形检测 ; 非球面 ; 接触式测量 ; 测量误差 ; Zernike多项式
通讯作者: 李杰
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为准确有效地检测大型非球面光学元件的面形,研究了接触式测量光学元件的测量点分布方式。使用不同密度的径向分布及均匀分布的测量点分别对以不同Zernike多项式表示的面形偏差进行采样,然后计算采样所得面形相对给定面形PV值及RMS值的最大相对误差,并对计算结果进行了分析。对1.8m抛物面镜面形实测结果表明:在镜面加工的成型及粗磨阶段,由于面形偏差主要呈旋转对称分布,低密度径向分布测量点即可满足继续加工的检测需求;在精磨及初抛阶段,面形偏差主要为像散或其它非对称面形偏差,测量点均匀分布是提升测量精度的有效手段。此分析方法可以指导测量点的排布方式,从而确保由测量点分布引入的测量误差小于镜面本身面形误差...
收录类别: Ei
项目资助者: 国家自然科学基金资助项目(No.60838002)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7065
Appears in Collections:质量处(质检中心)_期刊论文

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2012-1045.pdf(680KB)期刊论文作者接受稿限制开放View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院

Recommended Citation:
李杰,伍凡,吴时彬,等. 接触式大型非球面镜面形测量中测量点分布的确定[J]. 光学精密工程,2012,20(4):727-732.
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