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接触式大型非球面镜面形测量中测量点分布的确定
李杰; 伍凡; 吴时彬; 匡龙; 林常青
Source Publication光学精密工程
Volume20Issue:4Pages:727-732
2012
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract为准确有效地检测大型非球面光学元件的面形,研究了接触式测量光学元件的测量点分布方式。使用不同密度的径向分布及均匀分布的测量点分别对以不同Zernike多项式表示的面形偏差进行采样,然后计算采样所得面形相对给定面形PV值及RMS值的最大相对误差,并对计算结果进行了分析。对1.8m抛物面镜面形实测结果表明:在镜面加工的成型及粗磨阶段,由于面形偏差主要呈旋转对称分布,低密度径向分布测量点即可满足继续加工的检测需求;在精磨及初抛阶段,面形偏差主要为像散或其它非对称面形偏差,测量点均匀分布是提升测量精度的有效手段。此分析方法可以指导测量点的排布方式,从而确保由测量点分布引入的测量误差小于镜面本身面形误差...
Keyword光学面形检测 非球面 接触式测量 测量误差 Zernike多项式
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7065
Collection质量处(质检中心)
Corresponding Author李杰
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院
Recommended Citation
GB/T 7714
李杰,伍凡,吴时彬,等. 接触式大型非球面镜面形测量中测量点分布的确定[J]. 光学精密工程,2012,20(4):727-732.
APA 李杰,伍凡,吴时彬,匡龙,&林常青.(2012).接触式大型非球面镜面形测量中测量点分布的确定.光学精密工程,20(4),727-732.
MLA 李杰,et al."接触式大型非球面镜面形测量中测量点分布的确定".光学精密工程 20.4(2012):727-732.
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