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子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法
汪利华; 吴时彬; 任戈; 谭毅; 杨伟
Source Publication光学学报
Volume32Issue:1Pages:121-126
2012
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract为了实现大口径光学系统波前子孔径拼接干涉测量,保证子孔径采样数据准确定位,提出了子孔径拼接定位补偿算法。介绍了该算法原理,分析了该算法子孔径定位误差补偿能力。首先根据被检光学系统和子孔径口径大小规划出采样子孔径布局,在子孔径采样装置机械精度误差范围内对子孔径进行拼接,根据所求子孔径定位误差补偿系数和调整误差系数,得到被检全孔径波前,完成大口径光学系统波前的拼接检测。通过仿真验证了该算法的可行性,在机械平移定位精度为1mm和转动角定位精度为0.5°时,用该算法实验检测口径为200mm的光学系统平面波前。检测结果表明该算法稳定可靠,能有效补偿机械精度引起的子孔径定位误差,从而可放宽对机械定位精度的...
Keyword子孔径拼接 定位补偿 光学波前 光学测量
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7061
Collection质量处(质检中心)
Corresponding Author汪利华
Affiliation中国科学院光电技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
汪利华,吴时彬,任戈,等. 子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法[J]. 光学学报,2012,32(1):121-126.
APA 汪利华,吴时彬,任戈,谭毅,&杨伟.(2012).子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法.光学学报,32(1),121-126.
MLA 汪利华,et al."子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法".光学学报 32.1(2012):121-126.
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