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题名:
子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法
作者: 汪利华; 吴时彬; 任戈; 谭毅; 杨伟
刊名: 光学学报
出版日期: 2012
卷号: 32, 期号:1, 页码:121-126
关键词: 子孔径拼接 ; 定位补偿 ; 光学波前 ; 光学测量
通讯作者: 汪利华
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为了实现大口径光学系统波前子孔径拼接干涉测量,保证子孔径采样数据准确定位,提出了子孔径拼接定位补偿算法。介绍了该算法原理,分析了该算法子孔径定位误差补偿能力。首先根据被检光学系统和子孔径口径大小规划出采样子孔径布局,在子孔径采样装置机械精度误差范围内对子孔径进行拼接,根据所求子孔径定位误差补偿系数和调整误差系数,得到被检全孔径波前,完成大口径光学系统波前的拼接检测。通过仿真验证了该算法的可行性,在机械平移定位精度为1mm和转动角定位精度为0.5°时,用该算法实验检测口径为200mm的光学系统平面波前。检测结果表明该算法稳定可靠,能有效补偿机械精度引起的子孔径定位误差,从而可放宽对机械定位精度的...
收录类别: Ei
项目资助者: 中国科学院光束控制重点实验室基金(20090813AOP-08)资助课题
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7061
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2012-1005.pdf(2031KB)期刊论文作者接受稿限制开放View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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汪利华,吴时彬,任戈,等. 子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法[J]. 光学学报,2012,32(1):121-126.
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