IOE OpenIR  > 质量处(质检中心)
光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析
朱咸昌; 伍 凡; 曹学东; 吴时彬; 张鹏
Source Publication光学学报
Volume31Issue:11Pages:112010-1-
2011
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract基于光栅衍射的转角法无需转动光管,与传统的转角法相比具有较高的测量效率。而微透镜阵列元件子单元数众多,利用该方法进行测量时,光栅的各级衍射斑可能发生干扰,影响测量精度甚至无法进行测量。利用Matlab软件模拟分析测量过程中子单元光栅0级和±1级衍射光斑间的干扰,通过分析测量光源波长、光栅周期、微透镜阵列的子孔径和焦距,选取合理的测量光源和光栅避免干扰,从而完成对微透镜阵列焦距的测量。测量结果表明,该方法具有较高的测量精度和测量效率,可用于单元数较多、F数较小的微透镜阵列焦距测量。
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7058
Collection质量处(质检中心)
Corresponding Author朱咸昌
Affiliation中国科学院光电技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
朱咸昌,伍 凡,曹学东,等. 光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析[J]. 光学学报,2011,31(11):112010-1-.
APA 朱咸昌,伍 凡,曹学东,吴时彬,&张鹏.(2011).光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析.光学学报,31(11),112010-1-.
MLA 朱咸昌,et al."光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析".光学学报 31.11(2011):112010-1-.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
2011-14-002.pdf(2753KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SAView Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[朱咸昌]'s Articles
[伍 凡]'s Articles
[曹学东]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[朱咸昌]'s Articles
[伍 凡]'s Articles
[曹学东]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[朱咸昌]'s Articles
[伍 凡]'s Articles
[曹学东]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 2011-14-002.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.