| 题名: | 光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析 |
| 作者: | 朱咸昌; 伍 凡; 曹学东; 吴时彬; 张鹏
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| 刊名: | 光学学报
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| 出版日期: | 2011
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| 卷号: | 31, 期号:11, 页码:112010-1- | | 通讯作者: | 朱咸昌
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| 文章类型: | 期刊论文
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| 中文摘要: | 基于光栅衍射的转角法无需转动光管，与传统的转角法相比具有较高的测量效率。而微透镜阵列元件子单元数众多，利用该方法进行测量时，光栅的各级衍射斑可能发生干扰，影响测量精度甚至无法进行测量。利用Matlab软件模拟分析测量过程中子单元光栅0级和±1级衍射光斑间的干扰，通过分析测量光源波长、光栅周期、微透镜阵列的子孔径和焦距，选取合理的测量光源和光栅避免干扰，从而完成对微透镜阵列焦距的测量。测量结果表明，该方法具有较高的测量精度和测量效率，可用于单元数较多、F数较小的微透镜阵列焦距测量。 |
| 语种: | 中文
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| 内容类型: | 期刊论文
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| URI标识: | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7058
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| Appears in Collections: | 质量处（质检中心）_期刊论文
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| 2011-14-002.pdf（2753KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 限制开放 | | View
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朱咸昌,伍 凡,曹学东,等. 光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析[J]. 光学学报,2011,31(11):112010-1-.
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