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题名:
光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析
作者: 朱咸昌; 伍 凡; 曹学东; 吴时彬; 张鹏
刊名: 光学学报
出版日期: 2011
卷号: 31, 期号:11, 页码:112010-1-
通讯作者: 朱咸昌
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 基于光栅衍射的转角法无需转动光管,与传统的转角法相比具有较高的测量效率。而微透镜阵列元件子单元数众多,利用该方法进行测量时,光栅的各级衍射斑可能发生干扰,影响测量精度甚至无法进行测量。利用Matlab软件模拟分析测量过程中子单元光栅0级和±1级衍射光斑间的干扰,通过分析测量光源波长、光栅周期、微透镜阵列的子孔径和焦距,选取合理的测量光源和光栅避免干扰,从而完成对微透镜阵列焦距的测量。测量结果表明,该方法具有较高的测量精度和测量效率,可用于单元数较多、F数较小的微透镜阵列焦距测量。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7058
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2011-14-002.pdf(2753KB)期刊论文作者接受稿限制开放View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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朱咸昌,伍 凡,曹学东,等. 光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析[J]. 光学学报,2011,31(11):112010-1-.
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