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题名:
曲率半径干涉测量定焦误差分析
作者: 毛洁; 侯溪; 伍凡
刊名: 光子学报
出版日期: 2015
期号: 7, 页码:19-23
关键词: 测量 ; 干涉测量 ; 光学球面 ; 曲率半径 ; 定焦 ; 离焦量 ; 误差分析
通讯作者: 毛洁
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为了提高曲率半径定焦准确度,从移相干涉仪,标准镜头透射波前误差,被测光学元件表面面形误差及调整误差等方面出发,分析影响干涉仪定焦准确度的各因素,并给出各误差补偿表达式.通过对比实验发现,在猫眼及共焦位置处调整误差补偿后,离焦量及曲率半径测量结果的变化趋势由近似线性变为随机变化,同时由离焦量引入的曲率半径变化量由7.05μm减小为0.5μm.在曲率半径干涉测量中,调整误差为影响定焦准确度的主要误差源,调节调整误差可有效控制离焦量的变化,提高曲率半径测量准确度.
项目资助者: 国家科技重大专项(No.XXXXXXXX)资助
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7041
Appears in Collections:先光中心_期刊论文

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2015-1071.pdf(1578KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

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毛洁,侯溪,伍凡. 曲率半径干涉测量定焦误差分析[J]. 光子学报,2015(7):19-23.
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