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曲率半径干涉测量定焦误差分析
毛洁; 侯溪; 伍凡
Source Publication光子学报
Issue7Pages:19-23
2015
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract为了提高曲率半径定焦准确度,从移相干涉仪,标准镜头透射波前误差,被测光学元件表面面形误差及调整误差等方面出发,分析影响干涉仪定焦准确度的各因素,并给出各误差补偿表达式.通过对比实验发现,在猫眼及共焦位置处调整误差补偿后,离焦量及曲率半径测量结果的变化趋势由近似线性变为随机变化,同时由离焦量引入的曲率半径变化量由7.05μm减小为0.5μm.在曲率半径干涉测量中,调整误差为影响定焦准确度的主要误差源,调节调整误差可有效控制离焦量的变化,提高曲率半径测量准确度.
Keyword测量 干涉测量 光学球面 曲率半径 定焦 离焦量 误差分析
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7041
Collection先光中心
Corresponding Author毛洁
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
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GB/T 7714
毛洁,侯溪,伍凡. 曲率半径干涉测量定焦误差分析[J]. 光子学报,2015(7):19-23.
APA 毛洁,侯溪,&伍凡.(2015).曲率半径干涉测量定焦误差分析.光子学报(7),19-23.
MLA 毛洁,et al."曲率半径干涉测量定焦误差分析".光子学报 .7(2015):19-23.
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