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基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析
徐燕; 吴永前; 李世芳; 万勇建; 侯溪
Source Publication光电工程
Volume42Issue:2Pages:84-88
2015
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract目前影响高精度干涉仪测量精度的一个重要因素是系统的相干噪声,为了提高干涉检测精度,必须抑制系统的相干噪声。环形光源作为一种抑制相干噪声的有效手段已被广泛应用工程实践。本文利用Zemax干涉仪建模分析了环形光源不同环半径对干涉测量精度影响,并分析了在一定环半径下,随着干涉腔长的增加,对干涉测量结果的影响。仿真分析结果表明,随着环形光源环半径的增加,干涉测量结果的系统误差增大,在同一环半径下,随着干涉腔长的增加,干涉测量的系统误差增大。
Keyword环形光源 相干噪声 误差分析
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7038
Collection先光中心
Corresponding Author徐燕
Affiliation中国科学院光电技术研究所
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GB/T 7714
徐燕,吴永前,李世芳,等. 基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析[J]. 光电工程,2015,42(2):84-88.
APA 徐燕,吴永前,李世芳,万勇建,&侯溪.(2015).基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析.光电工程,42(2),84-88.
MLA 徐燕,et al."基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析".光电工程 42.2(2015):84-88.
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