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基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析
作者: 徐燕; 吴永前; 李世芳; 万勇建; 侯溪
刊名: 光电工程
出版日期: 2015
卷号: 42, 期号:2, 页码:84-88
关键词: 环形光源 ; 相干噪声 ; 误差分析
通讯作者: 徐燕
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 目前影响高精度干涉仪测量精度的一个重要因素是系统的相干噪声,为了提高干涉检测精度,必须抑制系统的相干噪声。环形光源作为一种抑制相干噪声的有效手段已被广泛应用工程实践。本文利用Zemax干涉仪建模分析了环形光源不同环半径对干涉测量精度影响,并分析了在一定环半径下,随着干涉腔长的增加,对干涉测量结果的影响。仿真分析结果表明,随着环形光源环半径的增加,干涉测量结果的系统误差增大,在同一环半径下,随着干涉腔长的增加,干涉测量的系统误差增大。
项目资助者: 国家自然科学基金资助项目(61108045)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7038
Appears in Collections:先光中心_期刊论文

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2015-1014.pdf(1812KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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徐燕,吴永前,李世芳,等. 基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析[J]. 光电工程,2015,42(2):84-88.
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