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题名:
浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究
作者: 张杨; 徐清兰; 陈梅; 张蓉竹
刊名: 光学技术
出版日期: 2014
期号: 6, 页码:486-491
关键词: 浴法抛光 ; 抛光粉粒径 ; 抛光粉均匀性 ; 表面粗糙度 ; 去除速率
通讯作者: 张杨
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为了分析抛光粉粒径对材料去除效果的影响,选用不同的平均粒径以及不同比例混合氧化铈抛光粉分别对K9玻璃进行了抛光试验。对抛光后的工件表面粗糙度及去除量进行了定量研究。结果表明,在试验条件相同的情况下,不同平均粒径的抛光粉,粒径越小,抛光后的元件表面粗糙度越好。从使用不同比例的混合抛光粉试验中可以看出,粒度的均匀性是影响工件表面粗糙度的重要因素。结合抛光粉粒度分布图和试验结果可以看出,抛光粉粒子的分布范围越小,以及各粒径大小分布在峰值附近的粒子所占体积百分比越接近,加工后的工件表面粗糙度越小。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7028
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作者单位: 1.四川大学电子信息学院
2.中国科学院光电技术研究所

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张杨,徐清兰,陈梅,等. 浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究[J]. 光学技术,2014(6):486-491.
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