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基于条纹反射的光学表面疵病检测法
赵文川; 钟显云; 刘彬
Source Publication光子学报
Volume43Issue:9Pages:167-171
2014
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract提出一种基于条纹反射的光学表面疵病检测方法,检测系统由液晶显示屏、CCD相机和计算机组成.检测时在显示屏上分别显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹,用CCD相机记录经被测表面反射的正弦条纹像,通过相移技术得到两个方向正交的相位分布和对比度分布,通过对比度分布确定被测表面的疵病位置.被测面表面面形相关信息包含在相位分布中,其表面疵病细节信息包含在局部微观相位分布之中.对相位分布进行多项式拟合后相减得到疵病引起的微观相位分布,计算得到表面疵病的梯度分布,积分得其高度分布.实验验证了该方法的可行性.
Keyword光学检测 表面检测 条纹反射 光学表面疵病 条纹处理
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7027
Collection先光中心
Corresponding Author赵文川
Affiliation中国科学院光电技术研究所
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GB/T 7714
赵文川,钟显云,刘彬. 基于条纹反射的光学表面疵病检测法[J]. 光子学报,2014,43(9):167-171.
APA 赵文川,钟显云,&刘彬.(2014).基于条纹反射的光学表面疵病检测法.光子学报,43(9),167-171.
MLA 赵文川,et al."基于条纹反射的光学表面疵病检测法".光子学报 43.9(2014):167-171.
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