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基于条纹反射的光学表面疵病检测法
作者: 赵文川; 钟显云; 刘彬
刊名: 光子学报
出版日期: 2014
卷号: 43, 期号:9, 页码:167-171
关键词: 光学检测 ; 表面检测 ; 条纹反射 ; 光学表面疵病 ; 条纹处理
通讯作者: 赵文川
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 提出一种基于条纹反射的光学表面疵病检测方法,检测系统由液晶显示屏、CCD相机和计算机组成.检测时在显示屏上分别显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹,用CCD相机记录经被测表面反射的正弦条纹像,通过相移技术得到两个方向正交的相位分布和对比度分布,通过对比度分布确定被测表面的疵病位置.被测面表面面形相关信息包含在相位分布中,其表面疵病细节信息包含在局部微观相位分布之中.对相位分布进行多项式拟合后相减得到疵病引起的微观相位分布,计算得到表面疵病的梯度分布,积分得其高度分布.实验验证了该方法的可行性.
项目资助者: 中国科学院“西部之光”人才培养计划“西部博士资助项目”(No.A12K015) ; 国家自然科学基金(No.61205007)资助
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7027
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2014-1088.pdf(1710KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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赵文川,钟显云,刘彬. 基于条纹反射的光学表面疵病检测法[J]. 光子学报,2014,43(9):167-171.
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