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题名:
Ф1.2m主镜光学加工中轴向支撑系统的补偿力分析计算
作者: 王洪桥; 范斌; 吴永前; 刘海涛; 刘容
刊名: 红外与激光工程
出版日期: 2014
卷号: 43, 期号:6, 页码:1889-1893
关键词: 主动支撑 ; 薄镜 ; 有限元分析
通讯作者: 王洪桥
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 大镜面反射镜在加工过程中需要处理一些低阶的Zernike多项式面形中非旋转对称的面形残余量。这些面型残余量大大增加了加工的难度。提出利用主动支撑技术指导镜面面形的加工过程,降低加工难度。主要研究加工过程中应用主动支撑技术补偿某些低阶Zernike系数面形残差的技术方法。在轴向支撑系统中采用全浮动支撑方式对镜面面形进行控制,采用力作为控制变量的控制模式使镜面产生低阶Zernike多项式面形变化,进一步"修正"处理某些不满足合力为零和合力矩平衡的解,成功实现主动支撑补偿低阶Zernike系数项面形。最后通过Ansys-Workbench软件仿真验证该计算方法的可行性。
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7026
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2014-1070.pdf(918KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

Recommended Citation:
王洪桥,范斌,吴永前,等. Ф1.2m主镜光学加工中轴向支撑系统的补偿力分析计算[J]. 红外与激光工程,2014,43(6):1889-1893.
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