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基于PMD的反射镜面检测实验分析
作者: 赵文川; 范斌; 伍凡; 苏显渝; 陈文静
刊名: 光学学报
出版日期: 2013
卷号: 33, 期号:1, 页码:98-101
关键词: 测量 ; 面形测量 ; 非球面镜 ; 条纹分析
通讯作者: 赵文川
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 将相位测量偏折术应用于非球面反射镜面形检测,并对实验检测结果的中高频误差进行了分析研究。计算机产生正弦性条纹图,并且显示在薄膜场效应晶体管显示屏上。摄像机通过被测反射镜观察并拍摄显示屏上的条纹图。利用相移技术和相位展开技术计算得到相位分布。以相位信息为载体对光线进行追迹,并根据反射定律得到面形梯度分布,由数值积分重建面形分布。最后使用泽尼克多项式拟合分析了其中高频误差。
收录类别: Ei
项目资助者: 国家自然科学基金(60838002) ; 中科院西部之光博士资助课题
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7013
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2013-1024.pdf(2545KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.四川大学电子信息学院光电系

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赵文川,范斌,伍凡,等. 基于PMD的反射镜面检测实验分析[J]. 光学学报,2013,33(1):98-101.
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