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基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究
作者: 宋伟红; 伍凡; 侯溪
刊名: 光学学报
出版日期: 2012
卷号: 32, 期号:8, 页码:113-118
关键词: 测量 ; 绝对检测 ; 单次旋转 ; 旋转非对称 ; 光学检测
通讯作者: 宋伟红
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测数据,采用基于最小二乘法的Zernike多项式拟合,剔除系统误差,获得被测面的旋转非对称面形误差。详细推导了理论计算公式,分析了单次旋转角度对算法检测精度的影响,并和多次旋转法作了对比,其残差均方根(RMS)值约为1.5nm。该方法只需一次旋转两次检测,在保证检测精度的同时简化了检测过程。
收录类别: Ei
项目资助者: 国家自然科学基金(60908042)资助课题
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7002
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2012-1093.pdf(3714KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院

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宋伟红,伍凡,侯溪. 基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究[J]. 光学学报,2012,32(8):113-118.
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