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题名:
运动轨迹对抛光误差的影响分析和轨迹优化研究
作者: 施春燕; 袁家虎; 伍凡; 万勇建
刊名: 光学学报
出版日期: 2011
卷号: 31, 期号:8, 页码:260-264
通讯作者: 施春燕
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 针对现有光学加工抛光头运动方式由于光栅形或螺旋形等对称扫描方式带来的运动轨迹间的迭代误差,提出随机轨迹抛光运动方式。随机轨迹方法通过随机轨迹算法随机生成镜面离散点的抛光顺序和抛光轨迹,采用随机轨迹驻留时间补偿方法控制镜面离散点的驻留时间,对各个点进行相应大小的材料去除。实验结果显示,随机轨迹方法产生的抛光运动轨迹表现为混乱分布,从而把运动轨迹间的迭代误差均匀分布在整个镜面上,与规则运动轨迹方式相比降低了轨迹误差分布。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6996
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2011-13-018.pdf(1038KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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施春燕,袁家虎,伍凡,等. 运动轨迹对抛光误差的影响分析和轨迹优化研究[J]. 光学学报,2011,31(8):260-264.
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