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基于驻留时间补偿的抛光误差控制方法
作者: 万勇建; 施春燕; 袁家虎; 伍凡
刊名: 强激光与粒子束
出版日期: 2011
卷号: 23, 期号:1, 页码:97-100
通讯作者: 万勇建
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 针对计算机控制光学表面成形中光学表面存在中高频误差的问题,提出了一种基于驻留时间补偿的有效控制方法。分析了抛光误差的形成机理和影响因素,对系统的误差影响因素进行分类和定量描述,构建了抛光过程中磨损影响因子、浓度变化影响因子和系统影响因子。基于各影响因素的影响因子对抛光驻留时间的求解函数进行了修正,提出采用离散最小二乘法对修正的函数求解驻留时间。研究表明:这种补偿方法能提高计算机控制光学表面成形技术中加工模型的精度,减小光学表面的残余误差。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6989
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作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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万勇建,施春燕,袁家虎,等. 基于驻留时间补偿的抛光误差控制方法[J]. 强激光与粒子束,2011,23(1):97-100.
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