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题名:
高精度干涉仪镜头支撑结构的光机集成分析
作者: 张娟; 吴永前; 伍凡; 吴高峰
刊名: 光电工程
出版日期: 2011
卷号: 38, 期号:10, 页码:146-150
通讯作者: 张娟
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 根据高精度干涉仪镜头的工作状况,给出了平放时镜头的装卡方式。用Ansys Workbench有限元分析软件对镜头由重力、支撑结构所导致的面形变化进行仿真分析,在对光机结构进行有限元分析的基础上,反复优化镜头机械结构设计,从而使支撑结构引起的系统误差降到最低,以Zernike多项式为接口工具拟合镜面变形,评估了该支撑结构对镜头光学性能的影响。分析结果表明,在该支撑方式下,干涉仪镜头引入的波像差的均方根值RMS<1/50λ,满足像质要求。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6984
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2011-13-006.pdf(1708KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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张娟,吴永前,伍凡,等. 高精度干涉仪镜头支撑结构的光机集成分析[J]. 光电工程,2011,38(10):146-150.
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