中国科学院光电技术研究所机构知识库
Advanced  
IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)  > 期刊论文
题名:
基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析
作者: 汪为民,王强,邱传凯等
刊名: 半导体光电
出版日期: 2015
卷号: 36, 期号:5, 页码:704-707
关键词: MEMS ; 静电平行板驱动器 ; 变形镜 ; 弹性系数
通讯作者: 汪为民
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 静电平行板驱动器是基于静电驱动的MEMS变形镜的关键部件,其静态及动态性能对MEMS变形镜有重要影响。设计并利用表面硅工艺加工制作了三种基于不同弹性系数的静电平行板驱动器的MEMS变形镜,分别采用解析公式和有限元仿真方法分析了弹性系数对变形镜的三项性能参数即行程、吸合电压和固有频率的影响,并利用白光表面轮廓仪进行实验测试,验证了理论和仿真结果的有效性。实验结果表明三种变形镜中半圆环梁驱动器变形镜具有适中的吸合电压和较大的行程,最适合于自适应光学系统的应用需求。
项目资助者: 国家自然科学基金项目( 11403029 ; 61071027) ; 国 家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院 NSAF 联合基 金项目( 11176033)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6917
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

Files in This Item:
File Name/ File Size Content Type Version Access License
2015-1103.pdf(1054KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室; 电子科技大学光电信息学院; 中国科学院大学

Recommended Citation:
汪为民,王强,邱传凯等. 基于静电平行板驱动器的MEMS变形镜特性分析[J]. 半导体光电,2015,36(5):704-707.
Service
Recommend this item
Sava as my favorate item
Show this item's statistics
Export Endnote File
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[汪为民,王强,邱传凯等]'s Articles
CSDL cross search
Similar articles in CSDL Cross Search
[汪为民,王强,邱传凯等]‘s Articles
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
Add to CiteULike Add to Connotea Add to Del.icio.us Add to Digg Add to Reddit
文件名: 2015-1103.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放,请您登录
您对该条目有什么异议,请填写以下表单,管理员会尽快联系您。
内 容:
Email:  *
单位:
验证码:   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题:
 *
内 容:
Email:  *
验证码:   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 

Valid XHTML 1.0!
Copyright © 2007-2016  中国科学院光电技术研究所 - Feedback
Powered by CSpace