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题名:
A new touch mode capacitive pressure sensor with two deformable diaphragms
作者: Jiao YZ(焦玉中)
刊名: 微纳电子技术
出版日期: 2003
卷号: 40, 期号:(7)8), 页码:492~495
通讯作者: 焦玉中
语种: 中文
ISSN号: 1671-4776
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/688
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Jiao YZ. A new touch mode capacitive pressure sensor with two deformable diaphragms[J]. 微纳电子技术,2003,40((7)8)):492~495.
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