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题名:
衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化
作者: 刘志辉; 石振东; 杨欢; 李国俊; 方亮; 周崇喜
刊名: 红外与激光工程
出版日期: 2014
卷号: 43, 期号:7, 页码:2092-2096
关键词: 光束匀化 ; 衍射光学 ; 半导体激光器 ; 微透镜阵列
通讯作者: 刘志辉
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 提出了一种用衍射微透镜阵列对半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列。采用菲涅耳衍射公式,推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了成像型微透镜阵列匀化系统,并研究了微透镜口径及相位台阶数对焦斑均匀性的影响。结果表明:当衍射微透镜的口径D=0.27 mm、相位台阶数L=16时,可获得不均匀性约为±5%、系统能量可利用率达97%的均匀焦斑。
收录类别: Ei
项目资助者: 中国科学院开放课题(JTJG201206)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6872
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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2014-1062.pdf(715KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

Recommended Citation:
刘志辉,石振东,杨欢,等. 衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化[J]. 红外与激光工程,2014,43(7):2092-2096.
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