IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化
刘志辉; 石振东; 杨欢; 李国俊; 方亮; 周崇喜
Source Publication红外与激光工程
Volume43Issue:7Pages:2092-2096
2014
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract提出了一种用衍射微透镜阵列对半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列。采用菲涅耳衍射公式,推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了成像型微透镜阵列匀化系统,并研究了微透镜口径及相位台阶数对焦斑均匀性的影响。结果表明:当衍射微透镜的口径D=0.27 mm、相位台阶数L=16时,可获得不均匀性约为±5%、系统能量可利用率达97%的均匀焦斑。
Keyword光束匀化 衍射光学 半导体激光器 微透镜阵列
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6872
Collection微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
Corresponding Author刘志辉
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
刘志辉,石振东,杨欢,等. 衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化[J]. 红外与激光工程,2014,43(7):2092-2096.
APA 刘志辉,石振东,杨欢,李国俊,方亮,&周崇喜.(2014).衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化.红外与激光工程,43(7),2092-2096.
MLA 刘志辉,et al."衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化".红外与激光工程 43.7(2014):2092-2096.
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