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题名:
金属-介质多层膜超衍射材料频谱滤波特性
作者: 杜文娟; 王长涛; 赵泽宇; 姚纳; 罗先刚
刊名: 光电工程
出版日期: 2014
卷号: 41, 期号:11, 页码:89-94
关键词: 表面等离子体 ; 倏逝波 ; 多层膜
通讯作者: 杜文娟
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 本文理论研究了金属-介质多层膜光学超衍射材料频谱滤波的物理机制。严格矢量分析光波在金属-介质多层膜中频谱耦合传输的带通行为规律,理论分析单元厚度、填充比、膜层材料虚部和Al/Mg F2多层膜对数对空间频谱的带通窗口和透射振幅的影响因素。研究表明单元厚度和填充比主要影响空间频谱的带通窗口,膜层材料虚部和膜层对数主要影响空间频谱的透射振幅。该研究结果有望应用于超分辨成像光刻、表面等离子体结构照明、表层显微和生物传感等领域。
项目资助者: 国家自然科学基金资助项目(61177013)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6870
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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2014-1001.pdf(557KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

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杜文娟,王长涛,赵泽宇,等. 金属-介质多层膜超衍射材料频谱滤波特性[J]. 光电工程,2014,41(11):89-94.
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