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题名:
四激光束干涉光刻制造纳米级孔阵的理论分析
作者: 张锦 ; 冯伯儒 ; 郭永康
刊名: 光子学报
出版日期: 2003
卷号: 32, 期号:4, 页码:398~401
通讯作者: 张锦
语种: 中文
ISSN号: 1004-4213
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/683
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张锦,冯伯儒,郭永康. 四激光束干涉光刻制造纳米级孔阵的理论分析[J]. 光子学报,2003,32(4):398~401.
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