IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
金属网格与金属谐振环复合结构的太赫兹透过特性
熊伟; 姚军; 李伟; 沈京玲
Source Publication光电工程
Volume40Issue:3Pages:146-150
2013
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract本文根据SOI(Silicon-on-insulator)材料在太赫兹波段不透过太赫兹的特点,提出一种加工基于微机电系统(MEMS)可调谐太赫兹器件的新方案,并设计出与梳齿驱动加工工艺十分兼容的金属结构。此结构由金属网格和金属谐振环阵列复合构成,静态的测试表明结构在太赫兹波段显出带通滤波的特性,通过改变两个元件之间的位置,能够实现0.410.53THz带通调谐。此结构加工方法简单,加工过程中只需要一块掩膜版,并且金属结构在MEMS梳齿结构释放之前就已经光刻形成,不需要两个图形的对准工艺,同时也避免了后续光刻对加工好MEMS梳齿结构的破坏。金属网格和金属谐振环构成的复合结构为微机电系统(MEMS...
Keyword太赫兹 人工电磁材料 微机电系统
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6811
Collection微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
Corresponding Author熊伟
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
2.电子科技大学光电信息学院
3.首都师范大学物理系
Recommended Citation
GB/T 7714
熊伟,姚军,李伟,等. 金属网格与金属谐振环复合结构的太赫兹透过特性[J]. 光电工程,2013,40(3):146-150.
APA 熊伟,姚军,李伟,&沈京玲.(2013).金属网格与金属谐振环复合结构的太赫兹透过特性.光电工程,40(3),146-150.
MLA 熊伟,et al."金属网格与金属谐振环复合结构的太赫兹透过特性".光电工程 40.3(2013):146-150.
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