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题名:
全息片质量对原子全息光刻再现图形的影响模拟研究
作者: 石建平 ; 陈旭南 ; 陈献忠
刊名: 微细加工技术
出版日期: 2003
期号: 3, 页码:26~40
通讯作者: 石建平
收录类别: Ei
语种: 中文
ISSN号: 1003-8213
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/679
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石建平,陈旭南,陈献忠. 全息片质量对原子全息光刻再现图形的影响模拟研究[J]. 微细加工技术,2003(3):26~40.
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