IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性
李慧; 闫连山; 潘炜; 罗斌; 温坤华; 郭振
Source Publication激光与光电子学进展
Volume49Issue:1Pages:152-155
2012
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract结合等离子金属光栅原理和多层膜理论,提出-种金属-介质-金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分(FDTD)法对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真,得到多层结构的聚焦特性随金属-介质膜层数和凹槽数目的变化特性。结果表明,通过控制金属一介质层层数或者凹槽数目,焦距明显改善,焦距可达9.15μm,最大焦深约为26.38μm,相对于传统金属光栅,聚焦效应得到了明显增强。
Keyword薄膜 表面等离子 亚波长结构 多层膜设计
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6786
Collection微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
Corresponding Author李慧
Affiliation1.西南交通大学信息科学与技术学院信息光子与通信研究中心,四川成都610031
2.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610029
Recommended Citation
GB/T 7714
李慧,闫连山,潘炜,等. 多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性[J]. 激光与光电子学进展,2012,49(1):152-155.
APA 李慧,闫连山,潘炜,罗斌,温坤华,&郭振.(2012).多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性.激光与光电子学进展,49(1),152-155.
MLA 李慧,et al."多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性".激光与光电子学进展 49.1(2012):152-155.
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