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题名:
多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性
作者: 李慧; 闫连山; 潘炜; 罗斌; 温坤华; 郭振
刊名: 激光与光电子学进展
出版日期: 2012
卷号: 49, 期号:1, 页码:152-155
关键词: 薄膜 ; 表面等离子 ; 亚波长结构 ; 多层膜设计
通讯作者: 李慧
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 结合等离子金属光栅原理和多层膜理论,提出-种金属-介质-金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分(FDTD)法对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真,得到多层结构的聚焦特性随金属-介质膜层数和凹槽数目的变化特性。结果表明,通过控制金属一介质层层数或者凹槽数目,焦距明显改善,焦距可达9.15μm,最大焦深约为26.38μm,相对于传统金属光栅,聚焦效应得到了明显增强。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6786
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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2012-1190.pdf(1481KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.西南交通大学信息科学与技术学院信息光子与通信研究中心,四川成都610031
2.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610029

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李慧,闫连山,潘炜,等. 多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性[J]. 激光与光电子学进展,2012,49(1):152-155.
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