IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文)
姚军; 陶逢刚; 任豪等
Source Publication纳米技术与精密工程
Volume10Issue:4Pages:313-317
2012
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract设计了一种新型静电驱动双向平动的MEMS变形镜,其结构包括3部分:中央下电极,4个静电驱动杠杆结构以及反射镜面(上电极).该变形镜有两种驱动模式:向下驱动模式和向上驱动模式.在向上驱动时,4个杠杆结构实现了位移的放大;向下驱动时,利用了非线性弹性系数法扩展了镜面的平动范围.采用表面硅工艺完成了变形镜的加工.通过白光干涉仪对变形镜的测试表明:在向上驱动模式下,变形镜在驱动电压为31;V时位移达到1.1μm;在向下驱动模式下,变形镜在6;V的驱动电压下位移达到1.1μm.变形镜的总行程为2.2μm,达到了同样工艺下传统变形镜的3倍左右.
Keyword双向平动 Mems 变形镜 杠杆驱动器
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6782
Collection微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
Corresponding Author姚军
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209
2.[2]中国科学院研究生院,北京100039
Recommended Citation
GB/T 7714
姚军,陶逢刚,任豪等. 新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文)[J]. 纳米技术与精密工程,2012,10(4):313-317.
APA 姚军,陶逢刚,&任豪等.(2012).新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文).纳米技术与精密工程,10(4),313-317.
MLA 姚军,et al."新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文)".纳米技术与精密工程 10.4(2012):313-317.
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