IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
基于多层膜结构的亚波长光栅研究
梁高峰; 赵青; 陈欣; 王长涛; 赵泽宇; 罗先刚
Source Publication物理学报
Volume61Issue:10Pages:178-183
2012
Language中文
Indexed BySCI
Subtype期刊论文
Abstract利用表面等离子体共振效应理论及金属-介质复合膜的特殊纳米光学效应对平面多层膜超分辨光刻技术进行了研究.在曝光光源为365;nm的情况下,实现周期230;nm,线宽100;nm的超分辨光刻成像.讨论了均匀金属-介质多层膜的结构参数选择,并通过数值仿真得到有效的光强度和对比度,然后用等离子体纳米光刻进行试验验证,通过最优化选择,最终得到了亚波长结构多层膜的大区域范围超分辨成像.
Keyword表面等离子体 超分辨成像 纳米光刻技术
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6778
Collection微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
Corresponding Author梁高峰
Affiliation1.电子科技大学物理电子学院
2.中国科学院光电技术研究所
3.微细加工光学技术国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
梁高峰,赵青,陈欣,等. 基于多层膜结构的亚波长光栅研究[J]. 物理学报,2012,61(10):178-183.
APA 梁高峰,赵青,陈欣,王长涛,赵泽宇,&罗先刚.(2012).基于多层膜结构的亚波长光栅研究.物理学报,61(10),178-183.
MLA 梁高峰,et al."基于多层膜结构的亚波长光栅研究".物理学报 61.10(2012):178-183.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
2012-1070.pdf(813KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SAView Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[梁高峰]'s Articles
[赵青]'s Articles
[陈欣]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[梁高峰]'s Articles
[赵青]'s Articles
[陈欣]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[梁高峰]'s Articles
[赵青]'s Articles
[陈欣]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 2012-1070.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.