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题名:
用于纳米光刻的超分辨缩小成像平板超透镜研究
作者: 李恒一; 王长涛; 罗先刚
刊名: 光电工程
出版日期: 2011
卷号: 38, 期号:5, 页码:35-39+45
通讯作者: 李恒一
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 本文提出和研究了利用超分辨缩小成像平板超透镜,在i线光源波长下实现纳米尺度光刻方法。为了在超分辨透镜像面位置获得高质量的光刻图形,采用超分辨透镜-光刻胶-反射银膜的结构方式,解决由于超透镜磁场偏振传输模式带来的成像光场畸变问题,大大提高了成像质量和光场对比度。采用掩模图形结构预补偿的方法,消除超分辨透镜的倍率畸变像差影响。基于有限元电磁计算方法,数值模拟结果验证了该方法在i线光源波长下实现纳米尺度缩小成像光刻的可能性。在i线(365nm)光源波长下,得到约35nm线宽的高对比成像光场模拟结果,并分析了结构参...
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6777
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2011-10-026.pdf(2224KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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李恒一,王长涛,罗先刚. 用于纳米光刻的超分辨缩小成像平板超透镜研究[J]. 光电工程,2011,38(5):35-39+45.
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