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题名:
新型分立倾斜式微变形镜研究
作者: 汪为民; 陶逢刚; 颜胜美; 张建飞; 姚军
刊名: 中国激光
出版日期: 2011
卷号: 38, 期号:7, 页码:253-258
通讯作者: 汪为民
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 基于微机电系统(MEMS)技术微加工工艺,提出了一种新型分立倾斜式变形镜(DM)设计,并加工制作了3×4变形镜阵列。该结构每个镜面单元对应一个驱动器,实现了连续面形的分立驱动,并且可有效释放工艺过程中产生的残余应力,从而降低镜面的翘曲。基于弹性理论对该变形镜的电压位移关系以及谐振频率进行了数值计算,并利用有限元软件对其进行了仿真,同时采用光学轮廓仪对样品进行了测试。实验结果表明,所制作的变形镜阵列可实现平移和倾斜运动,在3.75 V电压下可达到0.76μm的行程,与理论分析和模拟仿真结果一致。与传统分立倾斜...
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6776
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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2011-10-025.pdf(962KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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汪为民,陶逢刚,颜胜美,等. 新型分立倾斜式微变形镜研究[J]. 中国激光,2011,38(7):253-258.
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