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题名:
三光束激光干涉光刻的实现方法
作者: 刘国强,张锦,周崇喜
刊名: 强激光与粒子束
出版日期: 2011
卷号: 23, 期号:12, 页码:3250-3254
通讯作者: 刘国强,张锦,周崇喜
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 分析了多光束空间分布产生的误差对图形的影响,通过计算优化得到三光束产生的干涉图形在整个面内有着更好的图形稳定性。利用氦镉激光光源通过特定的光学系统形成空间分布近似旋转对称的三束光, 对光致抗蚀剂进行干涉曝光,制作出了周期600 nm、高度350 nm的蜂窝状点阵,测量结果表明该系统具有很好的图形重复性和稳定性,同时降低了对于光学光路的精密性要求。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6775
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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2011-10-024.pdf(5081KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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刘国强,张锦,周崇喜. 三光束激光干涉光刻的实现方法[J]. 强激光与粒子束,2011,23(12):3250-3254.
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