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题名:
非正交二维MEMS倾斜镜的研制
作者: 庄须叶; 汪为民; 陶逢刚; 姚军; 高福华
刊名: 光学精密工程
出版日期: 2011
卷号: 19, 期号:8, 页码:1845-1851
通讯作者: 庄须叶
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为提高传统二维倾斜镜在非正交方向上的光转换效率,设计并加工了一种转轴非正交二维MEMS倾斜镜。倾斜镜上电极非对称地固定在基底上,通过控制上、下电极的加电方式实现倾斜镜在两个非正交轴上的偏转变形。采用三层膜的结构设计,消除了上电极应力变形对镜面平整度的影响。通过在上电极加工微小突起,减小上下电极的重叠面积,避免了倾斜镜的吸合失效;另外,上、下电极仅在其边缘处重叠,确保了静电力的有效利用。研制的倾斜镜驱动电压低,在3.5 V的电压下可实现绕水平X轴0.16°、绕倾斜Y轴0.03°的偏转,Y轴与X轴成145.37...
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6768
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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2011-10-017.pdf(2432KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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庄须叶,汪为民,陶逢刚,等. 非正交二维MEMS倾斜镜的研制[J]. 光学精密工程,2011,19(8):1845-1851.
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