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题名:
静电排斥型微机电系统变形镜驱动器
作者: 胡放荣; 姚军
刊名: 红外与激光工程
出版日期: 2010
期号: z
通讯作者: 胡放荣
文章类型: 期刊论文
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6745
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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2010-113.pdf(2653KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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胡放荣,姚军. 静电排斥型微机电系统变形镜驱动器[J]. 红外与激光工程,2010(z).
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