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IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)  > 期刊论文
题名:
高真空光刻样品CCD显微观察装置
作者: 陈元培 ; 陈旭南 ; 李展
刊名: 光学仪器
出版日期: 2003
期号: 4, 页码:73~76
通讯作者: 陈元培
语种: 中文
ISSN号: 1005-5630
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/673
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陈元培,陈旭南,李展. 高真空光刻样品CCD显微观察装置[J]. 光学仪器,2003(4):73~76.
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