| Department | 开放室 |
| 提高微细图形光刻分辨力的相移滤波技术研究 | |
| 陈旭南; 石建平; 罗先刚 | |
| Source Publication | 光子学报
 |
| Volume | 32Issue:3Pages:323~326 |
| 2003 | |
| Language | 中文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/672 |
| Collection | 微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| Corresponding Author | 陈旭南 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 陈旭南,石建平,罗先刚. 提高微细图形光刻分辨力的相移滤波技术研究[J]. 光子学报,2003,32(3):323~326. |
| APA | 陈旭南,石建平,&罗先刚.(2003).提高微细图形光刻分辨力的相移滤波技术研究.光子学报,32(3),323~326. |
| MLA | 陈旭南,et al."提高微细图形光刻分辨力的相移滤波技术研究".光子学报 32.3(2003):323~326. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 3036.pdf（287KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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