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IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室（开放室）  > 期刊论文
题名:
A MEMS micromirror driven by electrostatic force
作者: Hu Fangrong; Yao Jun; Qiu Chuankai; Ren Hao
刊名: Journal of Electrostatics
出版日期: 2010
卷号: 68, 期号:3, 页码:237-242
通讯作者: Hu Fangrong
文章类型: 期刊论文
语种: 英语
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6711
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室（开放室）_期刊论文

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2010-092.pdf（1221KB）期刊论文作者接受稿开放获取
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作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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Hu Fangrong,Yao Jun,Qiu Chuankai,et al. A MEMS micromirror driven by electrostatic force[J]. Journal of Electrostatics,2010,68(3):237-242.
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