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题名:
一种基于移动掩模光刻制作四棱锥反射镜的方法
作者: 王爱娜; 姚军; 蔡冬梅; 潘丽; 李飞
刊名: 中国激光
出版日期: 2009
卷号: 36, 期号:s2, 页码:40-43
通讯作者: 王爱娜
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 提出了基于微细加工的移动掩模光刻(MML)法制作四棱锥反射镜的方法。通过移动掩模光刻,在光刻胶上得到棱锥结构,然后将其线性传递到硅基底上,进行金属化处理以提高反射率。棱锥结构的底面尺寸为1 mm×1 mm,四个反射面与底面成3.7°的倾角。尖端和棱边的尺寸被控制在6 μm左右,呈现出非常好的刀口状,镜面粗糙度的均方根误差(RMS)为77 nm,均满足红外波段的波前传感系统的要求。
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6708
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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2009-130.pdf(3203KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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王爱娜,姚军,蔡冬梅,等. 一种基于移动掩模光刻制作四棱锥反射镜的方法[J]. 中国激光,2009,36(s2):40-43.
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