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IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室（开放室）  > 期刊论文
题名:
用亚稳态氩原子束制作纳米结构
作者: 陈献忠 ; 高洪涛 ; 姚汉民
刊名: 光学精密工程
出版日期: 2003
卷号: 11, 期号:1, 页码:6~9
通讯作者: 陈献忠
语种: 中文
ISSN号: 1004-924x
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/670
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室（开放室）_期刊论文

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陈献忠,高洪涛,姚汉民. 用亚稳态氩原子束制作纳米结构[J]. 光学精密工程,2003,11(1):6~9.
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